第127章 全世界的惊涛骇浪——他们究竟是怎么做到的！（2/2）

“我们自己的一代7nm制程工艺采用了非常先进的曝光修正算法，大大的提高了良品率。但是，你们看到了没，拜仁的整个微观切面，这图像边界有一点点不清晰吗？”

“难不成，他们还能做到百分之百的修正？”立即就有人置疑道。

“我不知道，原始的设计是怎么样的我们看不到，也不清楚。”林志豪接着说道：“我们能看到的就只有这个图，别的我不敢保证，仅仅从这个图来看，边界几乎可以认为是百分之百。”

林志豪这么一说，原本就非常不淡定的台积电工程师们就更加的不淡定了：几乎百分之百，啥意思？

任何的机器都不可避免的会有系统误差和测量误差，几乎百分之百，那实际就是百分之百！

“这也是我之前我为什么说拜仁有能力利用duv制造5nm的关键之所在。”林志豪接着说道：“不能以常理衡量他们啊！”

林志豪说这话的时候，心里也是十分不解，也在感慨着：他们就究竟是怎么做到的啊！就凭那个系统内多偏差相互作用修正的全新工艺？

林志豪想不明白：

按道理，台积电当初利用深紫外duv量产7nm时的曝光补偿和修正算法已经极为先进了，但也完全没法做到拜仁这样几乎完美的修正效果！

这简直就是一件不可思议的事情，难道他们这个所谓的全新工艺还能让光的衍射现象消失不成？

即便那样也不对啊，热膨胀也还是会造成图像显影误差。

林志豪昨天想了一夜，也没想出来个所以然来。

至于用误差消弭误差，最终达到没有误差的效果，林志豪不是没想过，但这也根本不可能啊！

这对控制系统的精密性要求太高了，阿斯麦现在最先进的光刻机由某国提供的控制系统都做不到，就更不用说大陆资产的落后光刻机了。

“他们究竟是怎么做到的？！”林志豪摇了摇头脑袋，再一次的发出这样的感慨。